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      產品名稱:MASFLO-OVAL II(FHA、FHB)

      概 要

      可以測量或控制各種氣體的熱式質量流量計/控制器。適用于各種氣體供給系統、氣體混合工藝、實驗工廠、半導體制造工藝、研究所等使用的氣體流量測量以及流量控制。

      特 長

      ・無溫度和壓力校正,可直接測量標準換算(0℃、1 atm)后的流量
      ・適用的氣體種類很多
      ・也可測量混合氣體

      主要規格

      機型 FHA(流量表) FHB(主流控制器)
      連接 嵌入式接頭、金屬墊圈面密封接頭等
      流量 較 小 0.1mL/min(normal) ※1
      ****** 500L/min(normal) ※1
      掉頭 1:50
      控制區域 2~100%
      使用溫度范圍 -10~+70℃
      較 高使用壓力 39.2MPa 19.6MPa ※2
      精度 全標±1%(實際氣體校正時)
      電源 ±15VDC
      主體材料 SUS316
      輸出 模擬
      結構 非防爆、IP20
      應用流體 原則上用化學式表示的氣體
      ※1:空氣值。在空氣以外使用的情況下,需要用轉換因子換算。
      ※2:根據流量而不同。
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